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碳管生长
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本人在用热CVD生长碳管,生长条件: 碳源气体:乙烯---流量为20sccm 还原气体:氢气----流量为200sccm 载气:氩气----流量为200sccm 生长时间:10min 还原时间:600min 生长温度:700度 还原温度:700度 但在这个条件下,在不锈钢上长不出碳管,而在镀镍的硅片上却能生长出来。后来我改变了温度,分别在650度、800度、900度下生长,还是在不锈钢上生长不出碳管,而在镀镍硅片上能长出碳管。现在正无措,不知什么原因,希望有人知道的能指点一下,不胜感谢! |
2楼2013-07-30 18:28:10
3楼2013-07-30 19:53:54
4楼2013-07-30 20:34:46
wulishi8
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5楼2013-07-30 21:09:50
6楼2013-07-30 21:23:47
wulishi8
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7楼2013-07-30 23:09:17
8楼2013-07-31 08:57:58









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