| 查看: 475 | 回复: 3 | |||
[交流]
长时间溅射TiN为啥黑了呢？ 已有2人参与
|
反应溅射TiN薄膜，正常情况下是金黄色的，但是只能短时间溅射（20min以内），时间一长就黑了（条件不变，如总压，N分压，功率等），这样厚度达不到要求啊，哪位高手做过给点建议呗？谢谢 |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
xna16» 猜你喜欢
救命帖
已经有6人回复
-
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有37人回复
-
英文综述是否需要润色及查重
已经有5人回复
-
限项规定
已经有5人回复
-
为什么nbs上溴 没有产物点出现呢
已经有9人回复
-
招博士
已经有3人回复
-
最失望的一年
已经有18人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
- 请问磁控溅射TiN 的附着力的主要影响因素有哪些？
已经有6人回复
2楼2013-08-08 11:19:34
3楼2013-08-23 15:36:01
keqi8058
金虫 (正式写手)
- 应助: 25 (小学生)
- 金币: 1475.8
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 683
- 在线: 114.3小时
- 虫号: 792908
- 注册: 2009-06-12
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
4楼2013-08-24 00:59:06