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长时间溅射TiN为啥黑了呢？已有2人参与
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反应溅射TiN薄膜，正常情况下是金黄色的，但是只能短时间溅射（20min以内），时间一长就黑了（条件不变，如总压，N分压，功率等），这样厚度达不到要求啊，哪位高手做过给点建议呗？谢谢 |
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2楼2013-08-08 11:19:34
3楼2013-08-23 15:36:01
keqi8058
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4楼2013-08-24 00:59:06