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包子米粒儿

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片上自然生长的氧化硅薄膜的厚度 已有1人参与

求助,一般自然放置的硅片上自然生长的氧化硅薄膜的厚度大概是多少?如何测量这层薄膜的厚度呢?
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hansome221

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-07-31 04:41:43
大约2-3纳米,橢偏仪可测量,我们常测。

是抛光片的自然氧化层厚度?还是切割清洗后的氧化层厚度?
8楼2014-05-04 16:16:06
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yswyx

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【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
包子米粒儿(wangkj代发): 金币+1, 代发 2013-07-29 00:07:55
印象里是二三十埃吧,咋测真不知道。理论上椭偏可以测,但是原生氧化层不致密,参考的折射率啥的是不是准就不知道了。
2楼2013-07-28 01:19:31
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包子米粒儿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-28 01:19:31
印象里是二三十埃吧,咋测真不知道。理论上椭偏可以测,但是原生氧化层不致密,参考的折射率啥的是不是准就不知道了。

那我用万用表测量硅片表面,电阻率是2K~20K范围内,这个能是硅片的电阻吗?
3楼2013-07-28 08:18:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 包子米粒儿 at 2013-07-28 08:18:09
那我用万用表测量硅片表面,电阻率是2K~20K范围内,这个能是硅片的电阻吗?...

万用表测硅片,肯定是不准的。最差你也拿个四探针啊。搞这个的,没个探针台还玩儿啥。
你测的电阻率肯定不准,20k的硅片都是天价。2k的也很贵了。
4楼2013-07-29 13:41:32
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