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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 硅片上自然生长的氧化硅薄膜的厚度
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包子米粒儿

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片上自然生长的氧化硅薄膜的厚度 已有1人参与

求助，一般自然放置的硅片上自然生长的氧化硅薄膜的厚度大概是多少？如何测量这层薄膜的厚度呢？
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1楼 2013-07-27 16:36:15
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
包子米粒儿(wangkj代发): 金币+1, 代发 2013-07-29 00:07:55
印象里是二三十埃吧，咋测真不知道。理论上椭偏可以测，但是原生氧化层不致密，参考的折射率啥的是不是准就不知道了。
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2楼2013-07-28 01:19:31
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包子米粒儿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-28 01:19:31
印象里是二三十埃吧，咋测真不知道。理论上椭偏可以测，但是原生氧化层不致密，参考的折射率啥的是不是准就不知道了。

那我用万用表测量硅片表面，电阻率是2K~20K范围内，这个能是硅片的电阻吗？
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3楼2013-07-28 08:18:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 包子米粒儿 at 2013-07-28 08:18:09
那我用万用表测量硅片表面，电阻率是2K~20K范围内，这个能是硅片的电阻吗？...

万用表测硅片，肯定是不准的。最差你也拿个四探针啊。搞这个的，没个探针台还玩儿啥。
你测的电阻率肯定不准，20k的硅片都是天价。2k的也很贵了。
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4楼2013-07-29 13:41:32
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

大约2-3纳米，橢偏仪可测量，我们常测。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2013-07-31 04:41:43
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文虫wen

新虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
6楼2014-04-22 18:36:05
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azuoin

铜虫 (初入文坛)
成熟的方法是椭偏仪
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7楼2014-04-29 10:16:40
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hansome221

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-07-31 04:41:43
大约2-3纳米，橢偏仪可测量，我们常测。

是抛光片的自然氧化层厚度？还是切割清洗后的氧化层厚度？
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8楼2014-05-04 16:16:06
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