| 查看: 2239 | 回复: 2 | |||
wangsheng7金虫 (小有名气)
|
[求助]
急，请问如何选择干法刻蚀(RIE)金属氧化物薄膜的气体？（用来刻蚀ZnO薄膜等）
|
|
希望通过干法刻蚀(反应等离子气刻蚀 RIE) ZnO、SnO2、ITO 等金属氧化物，用不锈钢或Au、Ag膜作掩膜，选择哪种刻蚀工作气体好呢？ 以前看文献有用CH4/H2来刻蚀ITO的，但国内好像没有，能用Cl2等来刻蚀吗？ [ Last edited by wangsheng7 on 2013-7-18 at 16:47 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有89人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 用廉价的铜布线实现大尺寸触摸面板
已经有5人回复
- PLD制备两相复合薄膜，为什么XRD测试不出其中金属氧化物的衍射峰
已经有11人回复
2楼2013-07-30 15:20:38
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2013-07-31 03:21:18
