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wangsheng7

金虫 (小有名气)

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[求助] 椭偏仪测各向异性薄膜折射率的问题：寻常光（o光）与非常光(e光) 已有1人参与

请教一个椭偏仪测各向异性薄膜折射率的问题：
看别人文献，可以用可变入射角光谱式椭偏仪表征材料的各向异性
即最后能得到寻常光(o光) 和非常光（e光）分别的折射率（及消光系数）
如下图，图c材料不同入射角下的两个参数随波长变化，最后得到图d中的红色4条曲线（o光与e光的n,k值）
但有一点不明白，测可变入射角的目的是什么？最后怎么得到的折射率和吸光系数随波长变化的曲线？是每个入射角的数据都用到了吗？
求大神不吝赐教

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1楼 2013-07-12 12:39:12

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huluhzq

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
wangsheng7: 金币+10, ★有帮助, 谢谢 2013-08-19 17:45:26

其实，椭偏仪数据处理，模型的建立是至关重要的一步，如果不能建立一个与参数匹配良好的模型，前面的测试就毫无意义，甚至如果建立一个错误的模型，其结果将与真实值南辕北辙，误导我们的实验。测可变入射角（即变角测量）有利于建模，从而使测量结果更加精确，这对多层膜，尤其是复合膜等复杂的膜层分析是非常有利和必要的。折射率和消光系数的得出，在建立模型后，一般可以通过椭偏仪自带的软件就可以实现哦（尤其是美国AST公司SE系列的椭偏，以软件见长，数据库也挺强大，功能也还不错，只是开始操作时有些复杂，但测量结果，精度都还是不错的，在进口货里面性价比也相对高一些）。当然了，软件处理的过程中，测量的数据都是用到的了。