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wangsheng7

金虫 (小有名气)

[求助] 椭偏仪测各向异性薄膜折射率的问题:寻常光(o光)与非常光(e光) 已有1人参与

请教一个椭偏仪测各向异性薄膜折射率的问题:
看别人文献,可以用 可变入射角光谱式椭偏仪 表征材料的各向异性
即最后能得到 寻常光(o光) 和 非常光(e光)分别的折射率(及消光系数)
如下图,图c材料不同入射角下的两个参数随波长变化,最后得到图d中的红色4条曲线(o光与e光的n,k值)
但有一点不明白,测可变入射角的目的是什么?最后怎么得到的折射率和吸光系数随波长变化的曲线?是每个入射角的数据都用到了吗?
求大神不吝赐教
椭偏仪测各向异性薄膜折射率的问题:寻常光(o光)与非常光(e光)
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chan、

新虫 (正式写手)

你好,这篇文章还能找到吗?

发自小木虫IOS客户端
4楼2019-05-09 21:52:58
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huluhzq

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
wangsheng7: 金币+10, 有帮助, 谢谢 2013-08-19 17:45:26
其实,椭偏仪数据处理,模型的建立是至关重要的一步,如果不能建立一个与参数匹配良好的模型,前面的测试就毫无意义,甚至如果建立一个错误的模型,其结果将与真实值南辕北辙,误导我们的实验。测可变入射角(即变角测量)有利于建模,从而使测量结果更加精确,这对多层膜,尤其是复合膜等复杂的膜层分析是非常有利和必要的。折射率和消光系数的得出,在建立模型后,一般可以通过椭偏仪自带的软件就可以实现哦(尤其是美国AST公司SE系列的椭偏,以软件见长,数据库也挺强大,功能也还不错,只是开始操作时有些复杂,但测量结果,精度都还是不错的,在进口货里面性价比也相对高一些)。当然了,软件处理的过程中,测量的数据都是用到的了。
2楼2013-08-15 10:51:55
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symsh

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
wangsheng7: 金币+2 2014-11-27 09:11:07
关于具体测试和数据拟合过程能说的更详细些吗?没看明白。谢谢!
科研
3楼2014-08-07 17:24:33
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