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求助！！刻蚀硅片扫描电镜拍出来的图片和文献上差别很大，是怎么回事？？
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我在用氢氧化钾和异丙醇刻蚀硅片，为什么扫描电镜拍出来是这个样子，而不是文献上说的金字塔形，请教各位大侠，这是什么原因？？很急啊，做了好久了，一直做不出来！！！ si42-1.gif  si41-2.gif |
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3楼2013-07-11 14:13:34
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-07-07 16:59:17