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求助!!刻蚀硅片扫描电镜拍出来的图片和文献上差别很大,是怎么回事??
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我在用氢氧化钾和异丙醇刻蚀硅片,为什么扫描电镜拍出来是这个样子,而不是文献上说的金字塔形,请教各位大侠,这是什么原因??很急啊,做了好久了,一直做不出来!!! si42-1.gif si41-2.gif |
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yswyx
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