24小时热门版块排行榜    

查看: 1227  |  回复: 2

七秒的记忆

金虫 (初入文坛)

[求助] 求助!!刻蚀硅片扫描电镜拍出来的图片和文献上差别很大,是怎么回事??

我在用氢氧化钾和异丙醇刻蚀硅片,为什么扫描电镜拍出来是这个样子,而不是文献上说的金字塔形,请教各位大侠,这是什么原因??很急啊,做了好久了,一直做不出来!!!
求助!!刻蚀硅片扫描电镜拍出来的图片和文献上差别很大,是怎么回事??
si42-1.gif


求助!!刻蚀硅片扫描电镜拍出来的图片和文献上差别很大,是怎么回事??-1
si41-2.gif
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
又是刻蚀,这都是谁教的学生???!!!
湿法的统统叫做腐蚀,ok?去查一下硅的各向异性腐蚀,查一下硅片的金字塔制绒方法,自己的片子晶向对不对,参数都对不对。
2楼2013-07-07 16:59:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zj11

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

这个可能是硅片的晶向不一样。湿法主要和硅片的晶向、电阻率、溶液的浓度和温度有关系
3楼2013-07-11 14:13:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 七秒的记忆 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +3 启萌科技 2026-08-12 8/400 2026-08-13 19:24 by 启萌科技
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +8 医学老男孩 2026-08-13 16/800 2026-08-13 19:18 by 医学老男孩
[考博] 澳大利亚 Murdoch University 全奖博士招生(3个名额)地质化工冶金领域 +21 AI8RaGaPaSCR 2026-08-07 22/1100 2026-08-13 19:15 by GOa33HKKemiO
[文学芳草园] 阿姨 +3 汪汪锅 2026-08-09 3/150 2026-08-13 16:56 by 410610288
[基金申请] filecode +14 documentary 2026-08-10 16/800 2026-08-13 16:39 by 润生71
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +9 家与远方 2026-08-10 14/700 2026-08-13 09:41 by 臭臭不臭01
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +22 Lanmanbaby 2026-08-09 36/1800 2026-08-12 22:50 by sdfapple719
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制,评价高的钱多评价低的钱少,但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
信息提示
请填处理意见