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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 电化学刻蚀Si
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柯莱蒂

新虫 (初入文坛)

[交流] 电化学刻蚀Si 已有4人参与

目前刚刚开始做关于电化学刻蚀硅的实验
经验匮乏很捉急
有做过这类实验的么
不知道用N型和P型硅有何区别呢？除了光照条件以外。
不知道大家如何使用电极连接的硅片
目前我就是简单的镀层AL
用铜线接触
做出来的均匀性不是很好，有的地方过了，有的地方刻蚀刚刚好
求教啊
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1楼 2013-07-04 10:05:19
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waylens

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个技术做的人很少，你必须得看大量的文献才行
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世界潮流，浩浩荡荡
2楼2013-07-05 10:40:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你如果搜硅的电化学腐蚀，会得到很多资料。
刻蚀特指干法
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3楼2013-07-05 11:15:15
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fubsd

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个方面做了很多年了，已有大量的文章发表，也有不少很好的综述，从制备到应用都有，建议楼主仔细看看文献
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4楼2013-07-05 13:58:04
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骑猪去散步

木虫 (初入文坛)

老男孩
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有相关的群么？？
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相思无用,唯别而已,别期若有定,千般煎熬又何如,莫道黯然消魂,何处柳暗花
5楼2013-12-10 11:34:27
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