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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 如果表征200nm薄膜中S，F元素的垂直分布？金币聊表谢意
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zhongluking

新虫 (小有名气)

[求助] 如果表征200nm薄膜中S，F元素的垂直分布？金币聊表谢意

在200nm厚度的薄膜中，S，F元素垂直于薄膜方向有梯度分布，请教如何通过TEM能谱观测？如何制样？文献中说需要用FIB制样。这是什么制样方法？
我们的薄膜不能接触水等溶剂。
或者有没有其他的表征手段
谢谢！
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1楼 2013-07-02 17:06:30
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导 2013-07-03 23:46:46
SIMS不知道能不能行，我也没有亲自做过
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2楼2013-07-02 21:42:29
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zhongluking

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-07-02 21:42:29
SIMS不知道能不能行，我也没有亲自做过

SIMS是什么？
不理解啊
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3楼2013-07-03 23:56:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhongluking at 2013-07-03 23:56:29
SIMS是什么？
不理解啊...

二次离子质谱，应该是要做动态的那种，用离子枪轰样品表面，不断摄谱
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4楼2013-07-04 01:04:02
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神魔流转

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
液氮冷冻切片，然后EDX研究切片中不同部位的元素，或者做mapping。
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5楼2013-07-04 01:33:19
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