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mooncold

木虫 (著名写手)

[交流] 探讨剥离溅射在金属基板上的薄膜的方法

最近在316不锈钢基板上溅射了TiNi薄膜(膜后大概在2-10微米)。大家都知道剥离在Si片或者玻璃片上的薄膜不是很费劲。可是如何玻璃在316不锈钢基板上溅射了TiNi薄膜却成了问题,不能直接撕下很大的薄膜。因为需要做一些薄膜的TEM表征。我想到的是用FIB,可是费用很高。
大家有什么好方法。

[ Last edited by mooncold on 2007-11-6 at 06:29 ]
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mooncold

木虫 (著名写手)

感谢楼上的回答。我们是用filtered arc deposition镀膜的,不锈钢表面事先抛光处理过,镀完之后即使过了几个月都没有发现薄膜起皮什么的,不可能将整个镀层接下来,只能是一点点,而且还打卷,不能做TEM或者观察横截面的结构。
继续寻求高手帮忙
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5楼2007-10-25 15:01:01
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goodfish

你可以把不锈钢板作弯曲变形,就可以把薄膜剥离下来一部分,应该够你看TEM的了
2楼2007-10-25 07:38:12
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mooncold

木虫 (著名写手)

不锈钢板很厚,不可能弯曲的。而且我希望是比较大块的薄膜
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3楼2007-10-25 08:19:20
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gkd_0000

新虫 (正式写手)

我以前化学镀镍的时候,发现如果不锈钢表面过于光滑,或者表面不干净如油污等,镀完以后过段时间镍薄膜容易剥落,起皮,甚至可以将整个镀层揭下来。

不知道搂住是用什么方法溅射的,要不要抽真空。可以考虑将表面处理一下,让镀层自然剥落。
成功地证实种种大胆的设想和揣测,这难道不正说明我们毕生的工作是无可非议和值得自豪的吗?--柯南道尔
4楼2007-10-25 13:14:19
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