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mooncold木虫 (著名写手)
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[交流]
探讨剥离溅射在金属基板上的薄膜的方法
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最近在316不锈钢基板上溅射了TiNi薄膜（膜后大概在2-10微米）。大家都知道剥离在Si片或者玻璃片上的薄膜不是很费劲。可是如何玻璃在316不锈钢基板上溅射了TiNi薄膜却成了问题，不能直接撕下很大的薄膜。因为需要做一些薄膜的TEM表征。我想到的是用FIB，可是费用很高。 大家有什么好方法。 [ Last edited by mooncold on 2007-11-6 at 06:29 ] |
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