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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 探讨剥离溅射在金属基板上的薄膜的方法
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mooncold

木虫 (著名写手)

[交流] 探讨剥离溅射在金属基板上的薄膜的方法

最近在316不锈钢基板上溅射了TiNi薄膜（膜后大概在2-10微米）。大家都知道剥离在Si片或者玻璃片上的薄膜不是很费劲。可是如何玻璃在316不锈钢基板上溅射了TiNi薄膜却成了问题，不能直接撕下很大的薄膜。因为需要做一些薄膜的TEM表征。我想到的是用FIB，可是费用很高。
大家有什么好方法。

[ Last edited by mooncold on 2007-11-6 at 06:29 ]
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1楼 2007-10-24 15:49:22
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mooncold

木虫 (著名写手)
不锈钢板很厚，不可能弯曲的。而且我希望是比较大块的薄膜
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3楼2007-10-25 08:19:20
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mooncold

木虫 (著名写手)
感谢楼上的回答。我们是用filtered arc deposition镀膜的，不锈钢表面事先抛光处理过，镀完之后即使过了几个月都没有发现薄膜起皮什么的，不可能将整个镀层接下来，只能是一点点，而且还打卷，不能做TEM或者观察横截面的结构。
继续寻求高手帮忙
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5楼2007-10-25 15:01:01
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mooncold

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2007-10-26 08:36:
没必要非要把薄膜剥下来。
可以用胶在薄膜表面贴上一层保护层（比如一个不锈钢片），然后制作截面切片，经过减薄即可进行TEM观察了。
有些外文文献上用过这个方法。

不适合我的材料。
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7楼2007-11-01 06:07:30
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