24小时热门版块排行榜    

查看: 1333  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

李小白哈哈

金虫 (正式写手)

高中

[求助] 真空紫外光刻光源与基材之间距离与刻蚀效果之间影响关系

如题,真空紫外光刻的光源 与 被刻蚀基材 的刻蚀效果 与他们之间的距离有无关系?呈怎么样的关系?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

李小白哈哈

金虫 (正式写手)

高中

引用回帖:
7楼: Originally posted by 红舟流星 at 2013-10-14 00:15:41
不是太清楚“刻蚀基材 的刻蚀效果”,但是想必刻蚀效果与接受光的能量(光子数量)有关,这点和光引发剂相同。...

先谢谢你了,我看一看
9楼2013-10-14 11:24:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

红舟流星

荣誉版主 (文坛精英)

志在成为千元户!

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
光强和距离平方反比
你可以参考光强与刻蚀效果的关系
红楼一梦终难寻扁舟载酒且慢行落花流水依惜别月伴明星照前路
2楼2013-07-03 00:29:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

李小白哈哈

金虫 (正式写手)

高中

引用回帖:
2楼: Originally posted by 红舟流星 at 2013-07-03 00:29:12
光强和距离平方反比
你可以参考光强与刻蚀效果的关系

麻烦你详细的说一下,或者有什么参考资料给我看一看,谢谢你
3楼2013-07-03 10:31:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

红舟流星

荣誉版主 (文坛精英)

志在成为千元户!

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 李小白哈哈 at 2013-07-03 10:31:05
麻烦你详细的说一下,或者有什么参考资料给我看一看,谢谢你...

对于距离直接影响光强,你可以搜索一下做光引发剂文章,里面应该有这样的介绍。
现在不在实验室,没有参考资料。
红楼一梦终难寻扁舟载酒且慢行落花流水依惜别月伴明星照前路
4楼2013-07-03 11:51:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10 kulium 2026-08-21 12/600 2026-08-21 19:46 by kulium
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +3 羊腰板 2026-08-21 3/150 2026-08-21 19:42 by kulium
[基金申请] 科研孤儿太难了 +16 我4大白菜 2026-08-20 17/850 2026-08-21 19:07 by sakuraai
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +15 医学老男孩 2026-08-20 19/950 2026-08-21 18:54 by 医学老男孩
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 14/700 2026-08-21 16:51 by applepetty
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 什么时候开奖? +7 CrisMessi 2026-08-18 7/350 2026-08-21 12:15 by weiyin
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +15 kkkl_v 2026-08-19 16/800 2026-08-21 11:22 by 365372687
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 13/650 2026-08-21 08:30 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜吗? +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
信息提示
请填处理意见