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MgO(001)基片如何清洗
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kayking0903
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MgO(001)基片如何清洗
求MgO(001)基片的清洗方法,就是在上面生长薄膜样品,因为MgO长时间暴露在空气中容易潮解,使用之前要处理一下,请问具体处理方法方式是怎样的?
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1楼
2013-06-29 00:38:12
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Originally posted by
kayking0903
at 2013-07-02 01:10:32
是磁控长膜,在清洗之前是不是有个退火过程,或者是清洗之后的原位退火?因为MgO易潮解...
清洗完之后,在腔内退火
你暴漏大气退火的话,凉下来不还是潮解么?
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5楼
2013-07-02 10:20:17
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为何没人回答。。。
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2013-07-01 10:06:58
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【答案】应助回帖
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用丙酮清洗
最好有个支架,可以竖着放MgO基片
多清洗几次。
你要在上面长什么膜?
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3楼
2013-07-01 14:20:38
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3楼
:
Originally posted by
wbcui
at 2013-07-01 14:20:38
用丙酮清洗
最好有个支架,可以竖着放MgO基片
多清洗几次。
你要在上面长什么膜?
是磁控长膜,在清洗之前是不是有个退火过程,或者是清洗之后的原位退火?因为MgO易潮解
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4楼
2013-07-02 00:10:32
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