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kayking0903

至尊木虫 (正式写手)

[求助] MgO(001)基片如何清洗

求MgO(001)基片的清洗方法,就是在上面生长薄膜样品,因为MgO长时间暴露在空气中容易潮解,使用之前要处理一下,请问具体处理方法方式是怎样的?
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kayking0903

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2013-07-01 14:20:38
用丙酮清洗
最好有个支架,可以竖着放MgO基片

多清洗几次。

你要在上面长什么膜?

是磁控长膜,在清洗之前是不是有个退火过程,或者是清洗之后的原位退火?因为MgO易潮解
4楼2013-07-02 00:10:32
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kayking0903

至尊木虫 (正式写手)

为何没人回答。。。
2楼2013-07-01 10:06:58
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用丙酮清洗
最好有个支架,可以竖着放MgO基片

多清洗几次。

你要在上面长什么膜?
3楼2013-07-01 14:20:38
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by kayking0903 at 2013-07-02 01:10:32
是磁控长膜,在清洗之前是不是有个退火过程,或者是清洗之后的原位退火?因为MgO易潮解...

清洗完之后,在腔内退火
你暴漏大气退火的话,凉下来不还是潮解么?
5楼2013-07-02 10:20:17
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