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bestbigbear

银虫 (小有名气)


[交流] 石英玻璃片如何清洗洁净?

最近在使用石英玻璃片进行旋转涂膜的实验,由于涂膜的厚度很薄,因此石英表面的清洁度对涂膜的结果会有影响。
现在我使用H2SO4:H2O2对石英玻璃片清洗,再以蒸馏水润洗石英片后烘干,这样得到的片目测是很干净了,但是AFM测试后表面并不干净,会有一些灰尘杂质的存在。

求问各位高人,石英片如何清洗比较干净?有没有专门的清洗机或清洗剂?
洗完的石英片如何保存?是否是需要专门的片架?

顺问有没有哪位大侠了解薄膜测厚仪的设备?求指教,求指点~~
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poss

至尊木虫 (职业作家)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
你的洗涤方式对,但是后处理不对

从酸中取出后应该用蒸馏水荡洗

然后用氮气(最好是高纯氮或氩气),气流吹扫

吹扫后直接旋涂

玻璃或硅片表面出后非常洁净,同时极易吸附灰尘

除非你在无尘环境中加热,否则超过十秒肯定吸附沾污
37楼2012-06-06 21:14:06
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斛兵之恋

铜虫 (小有名气)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
半导体、LCD工厂的做法都是弱碱液洗净然后air knife吹干  
不过全程无尘普通实验室基本做不到,而且这些设备也没有小型化。
42楼2012-06-07 09:25:17
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bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
我觉得可以用酒精清洗 后面用吹风机吹干 不要再空气中停留时间太长
3楼2012-06-06 16:53:57
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
煮完,用大量纯水冲洗,最后一定要用高压氮气(装个尖嘴,这是做薄膜必备的,其他烘干晾干都不是好办法)流吹干。。。
55楼2012-06-08 19:17:06
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普通回帖

bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
是不是烘干的时候落的灰啊
2楼2012-06-06 16:52:51
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用酒精就行
4楼2012-06-06 17:25:44
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用酸烘干后会有残留物
5楼2012-06-06 17:26:19
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精
7楼2012-06-06 17:36:26
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clarktao

木虫之王 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精清洗
9楼2012-06-06 17:49:50
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yuanyeguhong

至尊木虫 (文坛精英)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
闲来逛逛……
14楼2012-06-06 18:41:21
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奋力拼搏

至尊木虫 (文坛精英)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精
16楼2012-06-06 18:49:16
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kingoywm

木虫 (正式写手)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
能不能用稀盐酸洗洗,然后超声清洗下;然后用乙醇洗洗,然后在超声清洗;用乙醇洗吹干。
这样应该可以了吧?
17楼2012-06-06 19:08:26
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userhung

禁虫 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精就可以的哦~~~~~~~~~~~~~~
28楼2012-06-06 19:55:32
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userhung

禁虫 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
丙酮也可以试一试,祝福好运~~~~~~~~~~~
29楼2012-06-06 19:56:17
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zhengchengzzz

木虫 (正式写手)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
汽油
30楼2012-06-06 20:03:12
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小天龍

木虫 (著名写手)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
稀硝酸
31楼2012-06-06 20:09:47
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小天龍

木虫 (著名写手)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
稀硝酸泡30min,再用酒精超洗30min
32楼2012-06-06 20:11:44
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fuhanmei

禁虫 (知名作家)


bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

35楼2012-06-06 20:42:50
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fuhanmei

禁虫 (知名作家)


bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

36楼2012-06-06 20:42:58
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syhorchid

木虫之王 (文学泰斗)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精清洗即可。
39楼2012-06-06 21:19:37
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ycfxyh

木虫 (小有名气)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
首先用纯水先冲刷表面,再置入酸洗槽内浸泡一些时间,掏出后再用纯水冲刷后晾干。
40楼2012-06-06 21:47:40
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wait12121

金虫 (小有名气)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
直接用硅片~
41楼2012-06-07 08:50:44
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zhangr318

禁虫 (著名写手)


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本帖内容被屏蔽

46楼2012-06-07 13:27:59
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zzuzhf

至尊木虫 (著名写手)



bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用乙醇的洗瓶吹洗,用电吹风迅速吹干
49楼2012-06-07 18:36:24
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worryd

铜虫 (小有名气)



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测厚仪可以用手持式薄膜测厚仪,比较方便,价格便宜,我才买了一个750,还不错。你网上查下很多的。
50楼2012-06-07 20:10:41
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假大空6楼
2012-06-06 17:35   回复  
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