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石英玻璃片如何清洗洁净？
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最近在使用石英玻璃片进行旋转涂膜的实验，由于涂膜的厚度很薄，因此石英表面的清洁度对涂膜的结果会有影响。 现在我使用H2SO4：H2O2对石英玻璃片清洗，再以蒸馏水润洗石英片后烘干，这样得到的片目测是很干净了，但是AFM测试后表面并不干净，会有一些灰尘杂质的存在。 求问各位高人，石英片如何清洗比较干净？有没有专门的清洗机或清洗剂？ 洗完的石英片如何保存？是否是需要专门的片架？ 顺问有没有哪位大侠了解薄膜测厚仪的设备？求指教，求指点~~ |
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直接用硅片~
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