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bestbigbear

银虫 (小有名气)


[交流] 石英玻璃片如何清洗洁净?

最近在使用石英玻璃片进行旋转涂膜的实验,由于涂膜的厚度很薄,因此石英表面的清洁度对涂膜的结果会有影响。
现在我使用H2SO4:H2O2对石英玻璃片清洗,再以蒸馏水润洗石英片后烘干,这样得到的片目测是很干净了,但是AFM测试后表面并不干净,会有一些灰尘杂质的存在。

求问各位高人,石英片如何清洗比较干净?有没有专门的清洗机或清洗剂?
洗完的石英片如何保存?是否是需要专门的片架?

顺问有没有哪位大侠了解薄膜测厚仪的设备?求指教,求指点~~
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斛兵之恋

铜虫 (小有名气)


★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
半导体、LCD工厂的做法都是弱碱液洗净然后air knife吹干  
不过全程无尘普通实验室基本做不到,而且这些设备也没有小型化。
42楼2012-06-07 09:25:17
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查看全部 64 个回答
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
是不是烘干的时候落的灰啊
2楼2012-06-06 16:52:51
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★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
我觉得可以用酒精清洗 后面用吹风机吹干 不要再空气中停留时间太长
3楼2012-06-06 16:53:57
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)


★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用酒精就行
4楼2012-06-06 17:25:44
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简单回复
假大空6楼
2012-06-06 17:35   回复  
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
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