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石英玻璃片如何清洗洁净?
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bestbigbear
银虫
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虫号: 545522
[交流]
石英玻璃片如何清洗洁净?
最近在使用石英玻璃片进行旋转涂膜的实验,由于涂膜的厚度很薄,因此石英表面的清洁度对涂膜的结果会有影响。
现在我使用H2SO4:H2O2对石英玻璃片清洗,再以蒸馏水润洗石英片后烘干,这样得到的片目测是很干净了,但是AFM测试后表面并不干净,会有一些灰尘杂质的存在。
求问各位高人,石英片如何清洗比较干净?有没有专门的清洗机或清洗剂?
洗完的石英片如何保存?是否是需要专门的片架?
顺问有没有哪位大侠了解薄膜测厚仪的设备?求指教,求指点~~
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2012-06-06 16:49:16
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bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
半导体、LCD工厂的做法都是弱碱液洗净然后air knife吹干
不过全程无尘普通实验室基本做不到,而且这些设备也没有小型化。
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42楼
2012-06-07 09:25:17
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bai123
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bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
是不是烘干的时候落的灰啊
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2楼
2012-06-06 16:52:51
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bai123
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bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
我觉得可以用酒精清洗 后面用吹风机吹干 不要再空气中停留时间太长
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3楼
2012-06-06 16:53:57
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neu234
木虫之王
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bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用酒精就行
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4楼
2012-06-06 17:25:44
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假大空
6楼
2012-06-06 17:35
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