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nkq900120

金虫 (小有名气)

[求助] 湿法刻蚀硅纳米线SiNWs怎样的配方和时间能使硅线分散,间距增加?

Method 1:
3:1 (v/v) H2SO4/H2O2 at 90℃ for 15 min
4.4 M HF and 0.02 M AgNO3 at 50 °C for 30 min
immersed in concentrated HNO3 for 15 min

Method 2:
8 M HF and 0.04 M AgNO3 at 50 °C for 30 min
1:2 (v/v) HNO3/H2O for 30 min
5~10% HF for 10~15min

诸位前辈怎样得到不那么致密的硅纳米线阵列的呢,急求,呜呜~~~
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
nkq900120: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2013-09-23 13:31:20
1.湿法刻完纳米线后放置1-2天,表面形成氧化层后,再用HF去除,得到的纳米线会呈现针状,不容易团聚成簇;
2.刻完的纳米线使用KOH溶液处理,注意反应很快,表面没有氧化层的话只需要几秒,不过纳米线也会变短;
2楼2013-07-23 09:09:22
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