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xl1987木虫 (正式写手)
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[求助]
急！求如何洗掉氧化硅片上的脏东西。。。
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各位好！ 硅片至于furnace中， 950C通氧气，生长氧化硅。 想把氧化硅洗干净，就是把表面的脏东西洗掉，我尝试了把film浸没在丙酮溶液中，超声洗涤10分钟，以及氧气等离子体处理，。。。可是用光学显微镜观察，表面还是有很多杂物。。 求助！！！！ |
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jiagle
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2楼2013-06-06 07:59:26