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非晶硅的傅里叶红外测试
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在1-3欧姆厘米、单面抛光的单晶硅片上用PECVD长了一层60nm左右的非晶硅薄膜，测傅里叶红外时，能测出硅片的信号，去除背景后薄膜的信号一点都没有？是不是硅片上长薄膜没法测傅里叶红外？求高手指点，不尽感激 [ Last edited by zdgcl on 2013-6-4 at 22:12 ] |
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