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zdgcl

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[求助] 非晶硅的傅里叶红外测试

在1-3欧姆厘米、单面抛光的单晶硅片上用PECVD长了一层60nm左右的非晶硅薄膜，测傅里叶红外时，能测出硅片的信号，去除背景后薄膜的信号一点都没有？是不是硅片上长薄膜没法测傅里叶红外？求高手指点，不尽感激

[ Last edited by zdgcl on 2013-6-4 at 22:12 ]

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1楼 2013-06-04 22:10:27

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wlx6260

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【答案】应助回帖

换高阻硅片试一试

2楼2013-06-22 19:20:57

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zdgcl

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引用回帖:

2楼: Originally posted by wlx6260 at 2013-06-22 19:20:57
换高阻硅片试一试

测出了信号，图谱为http://bcs.duapp.com/emuchnet/2013/0901/w142h1864176_1378014352_870.png
但是看不太懂每个峰对应的信号，求指点，谢谢！！！（薄膜中应该有Si、O、H三种元素）

非晶硅的傅里叶红外测试

图片1.png

3楼2013-09-01 13:47:05

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Aq正传

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你好，你最后是怎么测出来的？反射式吗？

发自小木虫IOS客户端

4楼2016-07-06 18:30:41

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