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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » CIGS电池Mo电极的附着力
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zcq4891

金虫 (小有名气)

[交流] CIGS电池Mo电极的附着力 已有2人参与

在玻璃衬底（不经氢氟酸腐蚀）上溅射沉积Mo薄膜，大家怎么解决其附着力问题？我做的样品经切割后膜层全部脱落
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1楼 2013-06-03 10:01:26
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
那是很久很久以前，江湖中就有个传说，在衬底干净的情况下，两步工艺溅射Mo可以改善这一问题！
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3楼2013-06-06 09:21:45
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ydeng2639

木虫 (小有名气)

半导体纳米材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1.衬底洁净度；
2.Mo溅射工艺
等都是导致膜基结合力不好的原因，所以你要说明一下你的上面两个工艺过程，才能分析原因。
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不做专家对不起自己
2楼2013-06-05 10:37:37
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zcq4891

金虫 (小有名气)
做好的样品放在那里没事，但是切开后膜就马上起皮并扩散。做两层膜这些读文献就知道了，我想知道的是你们做出的膜的结合力怎么样？
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4楼2013-06-06 14:21:31
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