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zcq4891

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[交流] CIGS电池Mo电极的附着力已有2人参与

在玻璃衬底（不经氢氟酸腐蚀）上溅射沉积Mo薄膜，大家怎么解决其附着力问题？我做的样品经切割后膜层全部脱落

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1楼 2013-06-03 10:01:26

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ydeng2639

木虫 (小有名气)

半导体纳米材料

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1.衬底洁净度；
2.Mo溅射工艺
等都是导致膜基结合力不好的原因，所以你要说明一下你的上面两个工艺过程，才能分析原因。

不做专家对不起自己

2楼2013-06-05 10:37:37

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lijunjie84

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那是很久很久以前，江湖中就有个传说，在衬底干净的情况下，两步工艺溅射Mo可以改善这一问题！

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3楼2013-06-06 09:21:45

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zcq4891

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做好的样品放在那里没事，但是切开后膜就马上起皮并扩散。做两层膜这些读文献就知道了，我想知道的是你们做出的膜的结合力怎么样？

4楼2013-06-06 14:21:31

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