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zcq4891

木虫 (小有名气)

[交流] CIGS电池Mo电极的附着力 已有2人参与

在玻璃衬底(不经氢氟酸腐蚀)上溅射沉积Mo薄膜,大家怎么解决其附着力问题?我做的样品经切割后膜层全部脱落
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ydeng2639

木虫 (小有名气)

半导体纳米材料


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1.衬底洁净度;
2.Mo溅射工艺
等都是导致膜基结合力不好的原因,所以你要说明一下你的上面两个工艺过程,才能分析原因。
不做专家对不起自己
2楼2013-06-05 10:37:37
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
那是很久很久以前,江湖中就有个传说,在衬底干净的情况下,两步工艺溅射Mo可以改善这一问题!
3楼2013-06-06 09:21:45
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zcq4891

木虫 (小有名气)

做好的样品放在那里没事,但是切开后膜就马上起皮并扩散。做两层膜这些读文献就知道了,我想知道的是你们做出的膜的结合力怎么样?
4楼2013-06-06 14:21:31
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