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光刻成本介绍
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From SPIE digital library 分别从下面8各方面介绍了光刻成本。 (1) Capital equipment costs, throughput, and utilization (2) Consumables, such as photochemicals (3) Masks (4) Rework and yield (5) Metrology (6) Maintenance (7) Labor (8) Facilities |
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2013-05-30 09:46:49, 274.66 K
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3楼2013-05-30 20:23:21
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14楼2014-06-08 12:24:36
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yf.li9楼
2013-06-01 14:42
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gtr200813楼
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falldwon10楼
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change016楼
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ykbenku2楼
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lylewqewq11楼
2013-09-22 16:25
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