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光刻成本介绍
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From SPIE digital library 分别从下面8各方面介绍了光刻成本。 (1) Capital equipment costs, throughput, and utilization (2) Consumables, such as photochemicals (3) Masks (4) Rework and yield (5) Metrology (6) Maintenance (7) Labor (8) Facilities |
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2013-05-30 09:46:49, 274.66 K
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