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Simyang

金虫 (小有名气)

[交流] 场发射扫描电子显微镜结构及工作原理介绍

SEM的特点
SEM成像的物理信号
SEM的构造与工作原理
SEM的主要性能
SEM像衬度
SEM样品制备[ 来自小组 材料家族 ]
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学术流氓

金虫 (职业作家)

特点:景深大,制样简单,放大倍数连续可调。
物理信号:二次电子,背散射电子,俄歇电子,透射电子,特征X射线。
原理很简单,有电子枪发射的电子束经加速聚焦后打在样品表面,激发样品产生各种物理信号如二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线等,这些信号被相应的探测器接收,在荧光屏上同步显示出样品表面的形貌或成分。
主要性能包括:分辨率,放大倍数和景深。
衬度比较难理解,我也不太清楚,我感觉衬度就是因为样品的表面形貌、院子序数、晶体结构等方面存在差异才形成了衬度,所以可以由此获得相应的所需的图像就会有一定的衬度。
样品制备最简单了,由于景深大,可以直接测量表面粗糙的导电样品,对于绝缘样品喷金即可。

纯个人理解,有错误的地方还望大神更正。
When I can see you my body is with you, or my heart is.
2楼2013-05-28 08:53:09
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Simyang

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 学术流氓 at 2013-05-28 08:53:09
特点:景深大,制样简单,放大倍数连续可调。
物理信号:二次电子,背散射电子,俄歇电子,透射电子,特征X射线。
原理很简单,有电子枪发射的电子束经加速聚焦后打在样品表面,激发样品产生各种物理信号如二次电 ...

你的总结挺好的,对不懂这种东西的人帮助很大,不过说句实在话,以我管理维护一年,使用两年多的经验来说,其实它的原理要比这个复杂得多,只不过咱们一般不需要知道那么多就可以了。再次感谢你的参与!
做最好的自己!
3楼2013-05-28 09:17:57
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感谢分享
4楼2013-08-28 07:20:41
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