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bazhuzhixin

金虫 (小有名气)

[求助] 关于电极引出工艺 已有1人参与

硅半导体衬底,需要最后做引出电极,之前用的是铝,后面想试试用金做电极,但是不太清楚其工艺,尤其是后续的热处理工艺,请各位达人指教。(可能说的不太清楚,就是类似合金工艺,需要多少度保温多少时间那种)
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锋牙琳

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

银电极经常用来做背电极
5楼2013-06-09 10:02:38
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
bazhuzhixin: 金币+1, 有帮助, 有点饮鸩止渴的意思。。。 2013-05-28 23:49:42
查欧姆解除。站上讨论过很多次了。
2楼2013-05-28 16:52:25
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bazhuzhixin

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-28 16:52:25
查欧姆解除。站上讨论过很多次了。

谢谢提供线索,但是刚才粗略查了一下,还是不甚了解。有些说Au做背电极不用退火,有些则说避免用金做电极,我主要是时间有限,专业也不是做这个的,所以可能需要直接点的提示,那就不胜感激了
3楼2013-05-28 23:51:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by bazhuzhixin at 2013-05-28 23:51:22
谢谢提供线索,但是刚才粗略查了一下,还是不甚了解。有些说Au做背电极不用退火,有些则说避免用金做电极,我主要是时间有限,专业也不是做这个的,所以可能需要直接点的提示,那就不胜感激了...

做电极常用的欧姆接触材料是Ni 和Al。
比如Ni,一般是在硅表面先做注入然后退火,形成低阻硅层。然后镀金属膜,3000A厚度就可以了,然后做快速退火,温度450度,时间上30s到3min各种配方都有。
Au也可以做欧姆接触,但是掌握不好就容易做成肖特基接触,一般不建议采用。
4楼2013-05-30 20:08:22
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