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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 关于电极引出工艺
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bazhuzhixin

金虫 (小有名气)

[求助] 关于电极引出工艺 已有1人参与

硅半导体衬底，需要最后做引出电极，之前用的是铝，后面想试试用金做电极，但是不太清楚其工艺，尤其是后续的热处理工艺，请各位达人指教。（可能说的不太清楚，就是类似合金工艺，需要多少度保温多少时间那种）
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1楼 2013-05-26 23:36:21
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锋牙琳

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

银电极经常用来做背电极
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5楼2013-06-09 10:02:38
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
bazhuzhixin: 金币+1, ★有帮助, 有点饮鸩止渴的意思。。。 2013-05-28 23:49:42
查欧姆解除。站上讨论过很多次了。
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2楼2013-05-28 16:52:25
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bazhuzhixin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-28 16:52:25
查欧姆解除。站上讨论过很多次了。

谢谢提供线索，但是刚才粗略查了一下，还是不甚了解。有些说Au做背电极不用退火，有些则说避免用金做电极，我主要是时间有限，专业也不是做这个的，所以可能需要直接点的提示，那就不胜感激了
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3楼2013-05-28 23:51:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by bazhuzhixin at 2013-05-28 23:51:22
谢谢提供线索，但是刚才粗略查了一下，还是不甚了解。有些说Au做背电极不用退火，有些则说避免用金做电极，我主要是时间有限，专业也不是做这个的，所以可能需要直接点的提示，那就不胜感激了...

做电极常用的欧姆接触材料是Ni 和Al。
比如Ni，一般是在硅表面先做注入然后退火，形成低阻硅层。然后镀金属膜，3000A厚度就可以了，然后做快速退火，温度450度，时间上30s到3min各种配方都有。
Au也可以做欧姆接触，但是掌握不好就容易做成肖特基接触，一般不建议采用。
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4楼2013-05-30 20:08:22
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