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咕噜0鱼

银虫 (小有名气)

[求助] 电镀镍出现的问题

各位好,小银在硅片上面电镀镍,镀出来的镍层乱七八糟的,想问下是镀液的问题还是什么。
请大家帮我看看可能是什么问题,我电镀前溅射了一层铜作为导电层。电镀是0.5A,1个小时
电镀镍出现的问题
2寸硅片独镀出来后的样子


电镀镍出现的问题-1
把镀层掀开背后的样子,感觉不致密
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ljjwmsj

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
857688363: 金币+2, 感谢应助 2013-05-24 22:27:24
是不是电镀速率过快引起的应力过大啊?我在铜片上也电镀过镍,电流强度是你的十分之一,表面很好的。
在最短的时间内完成应该完成的工作!
3楼2013-05-24 21:14:30
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xueyan9088

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
857688363: 金币+2, 感谢应助 2013-05-24 22:27:15
咕噜0鱼: 金币+15, 有帮助, 2 2013-05-25 08:45:37
1h 很厚的,镀层有应力,鼓起来了,电镀液浓度是多少啊?
要多厚?考虑下时间设置
2楼2013-05-24 20:04:03
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ljjwmsj

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

还有溶液的ph值,溶液的配方也要注意一下。
在最短的时间内完成应该完成的工作!
4楼2013-05-24 21:18:25
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咕噜0鱼

银虫 (小有名气)

电镀液是氯化镍的溶液,200g/L.如果薄一点就不会鼓起来吗?看背后的镀层也是一个洞一个洞的,很不致密的样子,感觉像是开始镀就那样子了
5楼2013-05-25 08:44:31
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