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北京地区什么单位可以做硅基光波导器件端面抛光？
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| 器件是做在SOI晶片上的，中间2um厚的SiO2 层，3um的顶层硅厚度，晶片全部厚500um。担心用普通的金刚石笔沿晶向解理，极有可能使得器件碎裂。如果想做切片，并做光波导器件端面抛光，请问北京地区哪家单位可以做？谢谢回复！ |
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10楼2017-05-17 15:45:32
yswyx 
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3楼2013-05-23 12:58:16
5楼2013-05-24 07:03:17
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
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北京中科院的吴远大教授 但是估计要拿到河南鹤壁去 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
kelly_huster6楼2013-05-24 07:15:51
简单回复
gorgan12楼
2017-05-18 08:36
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