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cityhawk

新虫 (正式写手)


[交流] 北京地区什么单位可以做硅基光波导器件端面抛光?

器件是做在SOI晶片上的,中间2um厚的SiO2 层,3um的顶层硅厚度,晶片全部厚500um。担心用普通的金刚石笔沿晶向解理,极有可能使得器件碎裂。如果想做切片,并做光波导器件端面抛光,请问北京地区哪家单位可以做?谢谢回复!
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
这种都是把片子夹在一个厚重的夹具上,然后再把夹具放到抛光机上抛光的。十几年前在上海微系统所见过,北京的中科院微电子所四室有同样的设备,但是不知道有没有同样的夹具,也不知道能不能给你做。
3楼2013-05-23 12:58:16
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
很奇怪啊,既然做SOI的硅基光波导,波导侧壁的粗糙度难道不能满足要求端面耦合的要求?
5楼2013-05-24 07:03:17
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mj0404

铜虫 (小有名气)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
北京中科院的吴远大教授 但是估计要拿到河南鹤壁去

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6楼2013-05-24 07:15:51
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dabingbxm

铁虫 (小有名气)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
麻烦问下你们这个SOI是在哪里买的?我们最近想买一些SOI,希望能有些参考
7楼2013-07-12 13:42:39
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kelly_huster

新虫 (初入文坛)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by mj0404 at 2013-05-24 07:15:51
北京中科院的吴远大教授 但是估计要拿到河南鹤壁去

请问你有仕佳公司的联系方式吗?想做端面抛光,但是官网电话打不通,谢谢啦

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

9楼2017-05-17 15:44:39
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kelly_huster

新虫 (初入文坛)


请问楼主找到可以做端面抛光的公司没

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10楼2017-05-17 15:45:32
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HustJuly

铜虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问楼主最后找到抛光的公司没?
13楼2018-10-26 16:19:06
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HustJuly

铜虫 (初入文坛)


送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by kelly_huster at 2017-05-17 15:44:39
请问你有仕佳公司的联系方式吗?想做端面抛光,但是官网电话打不通,谢谢啦
...

我也是打仕佳的电话没人接,请问你联系上了吗?
14楼2018-10-26 16:20:18
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ANSON_sun2楼
2013-05-23 08:24   回复  
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
haixiawu4楼
2013-05-24 01:47   回复  
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
chenyh7188楼
2013-07-12 17:45   回复  
nono200911楼
2017-05-18 00:17   回复  
gorgan12楼
2017-05-18 08:36   回复  
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
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