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[交流]
北京地区什么单位可以做硅基光波导器件端面抛光?
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| 器件是做在SOI晶片上的,中间2um厚的SiO2 层,3um的顶层硅厚度,晶片全部厚500um。担心用普通的金刚石笔沿晶向解理,极有可能使得器件碎裂。如果想做切片,并做光波导器件端面抛光,请问北京地区哪家单位可以做?谢谢回复! |
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yswyx
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3楼2013-05-23 12:58:16
5楼2013-05-24 07:03:17
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
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北京中科院的吴远大教授 但是估计要拿到河南鹤壁去 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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6楼2013-05-24 07:15:51
7楼2013-07-12 13:42:39
9楼2017-05-17 15:44:39
10楼2017-05-17 15:45:32
13楼2018-10-26 16:19:06
14楼2018-10-26 16:20:18
简单回复
2013-05-23 08:24
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
haixiawu4楼
2013-05-24 01:47
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
2013-07-12 17:45
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nono200911楼
2017-05-18 00:17
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gorgan12楼
2017-05-18 08:36
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kelly_huster