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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 北京地区什么单位可以做硅基光波导器件端面抛光？
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cityhawk

新虫 (正式写手)

[交流] 北京地区什么单位可以做硅基光波导器件端面抛光？

器件是做在SOI晶片上的，中间2um厚的SiO2 层，3um的顶层硅厚度，晶片全部厚500um。担心用普通的金刚石笔沿晶向解理，极有可能使得器件碎裂。如果想做切片，并做光波导器件端面抛光，请问北京地区哪家单位可以做？谢谢回复！
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1楼 2013-05-22 22:51:55
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HustJuly

铜虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by kelly_huster at 2017-05-17 15:44:39
请问你有仕佳公司的联系方式吗？想做端面抛光，但是官网电话打不通，谢谢啦
...

我也是打仕佳的电话没人接，请问你联系上了吗？
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14楼2018-10-26 16:20:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
这种都是把片子夹在一个厚重的夹具上，然后再把夹具放到抛光机上抛光的。十几年前在上海微系统所见过，北京的中科院微电子所四室有同样的设备，但是不知道有没有同样的夹具，也不知道能不能给你做。
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3楼2013-05-23 12:58:16
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)
★
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
很奇怪啊，既然做SOI的硅基光波导，波导侧壁的粗糙度难道不能满足要求端面耦合的要求？
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5楼2013-05-24 07:03:17
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mj0404

铜虫 (小有名气)
★
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
北京中科院的吴远大教授 但是估计要拿到河南鹤壁去

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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kelly_huster
6楼2013-05-24 07:15:51
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gorgan12楼
2017-05-18 08:36   回复  
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
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