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用溶胶-凝胶法做薄膜，为什么会出现缩孔？
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我分别用蒸镀在硅片，石英玻璃上的铝作为溶胶-凝胶制备薄膜的基片，但是在热处理的过程中，发现薄膜穿孔，穿孔是从蒸镀的铝层开始的。铝膜的厚度大概在500nm这是为什么呢，和热膨胀系数有无关系？ |
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