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topyang01

新虫 (初入文坛)

[交流] 用溶胶-凝胶法做薄膜，为什么会出现缩孔？

我分别用蒸镀在硅片，石英玻璃上的铝作为溶胶-凝胶制备薄膜的基片，但是在热处理的过程中，发现薄膜穿孔，穿孔是从蒸镀的铝层开始的。铝膜的厚度大概在500nm这是为什么呢，和热膨胀系数有无关系？
用溶胶-凝胶法做薄膜，为什么会出现缩孔？
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1楼 2013-05-19 20:21:03
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