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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » PLD镀膜估计膜厚
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NJ.Gabriel

木虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜估计膜厚

那位仙知道用PLD技术镀膜 怎样估计所镀的薄膜厚度 如有文献麻烦上传 如果是公式麻烦详细说明 谢谢
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1楼 2013-05-06 22:21:48
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2013-05-08 20:38:47
这个的话 一般的先生长一批薄膜测了厚度，然后在相同工艺条件下根据脉冲数估算薄膜厚度
现在有些PLD上据说有在线监控薄膜厚度的，没用过，不是很清楚
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2楼2013-05-07 02:35:13
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flyfar111

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2013-05-07 09:53:18
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-05-07 02:35:13
这个的话 一般的先生长一批薄膜测了厚度，然后在相同工艺条件下根据脉冲数估算薄膜厚度
现在有些PLD上据说有在线监控薄膜厚度的，没用过，不是很清楚

此楼说的对矣。mbe可以实时监测。
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善良
4楼2013-05-08 08:49:23
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NJ.Gabriel

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by flyfar111 at 2013-05-07 09:53:18
不是有膜厚仪嘛，看颜色可以大概估计膜厚

我们想先估计以下 然后与膜厚仪做出来的做多比
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5楼2013-05-08 20:23:41
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