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NJ.Gabriel

木虫 (初入文坛)

[求助] PLD镀膜估计膜厚

那位仙知道用PLD技术镀膜 怎样估计所镀的薄膜厚度 如有文献麻烦上传 如果是公式麻烦详细说明 谢谢
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wangyong832

银虫 (著名写手)

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nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2013-05-08 20:38:47
这个的话 一般的先生长一批薄膜测了厚度,然后在相同工艺条件下根据脉冲数估算薄膜厚度
现在有些PLD上据说有在线监控薄膜厚度的,没用过,不是很清楚
2楼2013-05-07 02:35:13
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flyfar111

禁虫 (小有名气)

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3楼2013-05-07 09:53:18
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-05-07 02:35:13
这个的话 一般的先生长一批薄膜测了厚度,然后在相同工艺条件下根据脉冲数估算薄膜厚度
现在有些PLD上据说有在线监控薄膜厚度的,没用过,不是很清楚

此楼说的对矣。mbe可以实时监测。
善良
4楼2013-05-08 08:49:23
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NJ.Gabriel

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by flyfar111 at 2013-05-07 09:53:18
不是有膜厚仪嘛,看颜色可以大概估计膜厚

我们想先估计以下 然后与膜厚仪做出来的做多比
5楼2013-05-08 20:23:41
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