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polaris953

金虫 (小有名气)

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[求助] 用什么溶液去除铝电极比较好？

在硅片上蒸发的铝电极，厚度大概有200nm。
用什么方法能将铝电极洗的比较干净，又不伤害衬底硅片呢？

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1楼 2013-05-03 14:23:40

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南_京

新虫 (初入文坛)

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盐酸能将铝电极洗的比较干净，又不伤害衬底硅片，磷酸可能会伤害

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2楼2013-05-04 18:33:54

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zyoypx

金虫 (著名写手)

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3楼2013-05-05 00:02:01

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