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polaris953

金虫 (小有名气)

[求助] 用什么溶液去除铝电极比较好?

在硅片上蒸发的铝电极,厚度大概有200nm。
用什么方法能将铝电极洗的比较干净,又不伤害衬底硅片呢?
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南_京

新虫 (初入文坛)

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polaris953: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-05 08:39:54
盐酸能将铝电极洗的比较干净,又不伤害衬底硅片,磷酸可能会伤害
2楼2013-05-04 18:33:54
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zyoypx

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
polaris953: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-05 08:39:58
内容已删除
3楼2013-05-05 00:02:01
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