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zdc_2006

木虫 (著名写手)

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[求助] EDS分析求助

自己对金属纳米粒子的分析不太懂，上来请教大家，希望你们能帮助解答。
1. 测试的样品是一个双金属的纳米合金，能不能从EDS谱图中分析两种金属的比例呢？如果能，要怎么样来分析？
2. EDS分析时有时取点，有时用框来取区域，请问取点时它分析的范围是多大，也就是说这个点包含的面积大概是多少？

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1楼 2013-05-02 15:47:46

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temedx

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zdc_2006: 回帖置顶 2013-05-02 20:47:14

1. 可以。无论是SEM还是TEM均可，只是多数情况下，EDS采用无标样定量，定量分析结果是半定量的，不能作为决断性证据，而只能做其他表征手段的support information。分析方法很简单，EDS能谱都有直接定量分析的功能，为了准确，你可以多点分析（大于20个点），取平均值。
2. 一个点的分析区域对于通常的SEM区域是以电子束束斑为大小的圆斑，往下是一个梨形扩展区，通常会有几个立方微米的空间，但如果只是一个单分散的纳米颗粒，下面没有其他干扰，分析区域可以准确到电子束斑大小。对于TEM，则和后面的那种情况相同。
顺便说一下：在EDS采集样品信息时，一般建议用取点分析，而不是取框，因为如果不做设定，通常一个点的分析时间和一个框的总分析时间相同，那么一个框的分析时间平均到每个区域点，会使采样时间极其短暂，从而影响定量结果的准确性（信号量不足会影响少量元素组分的定量）。