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显微镜测量范围问题
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liuzhanr
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显微镜测量范围问题
请问根据显微镜的准确度可不可以确定显微镜能测量的最小值?
例如: 我看说明书上写的显微镜的准确度是:测量范围50mm, ±(2.5+L/50)μm,L为测量长度。
请问我测3~5个μm的厚度能用这显微镜测试吗?
请求哪位大神解答一下??
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1楼
2013-05-02 10:40:57
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liuzhanr
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2楼
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Originally posted by
Jackcd12
at 2013-05-02 14:52:55
光学显微镜x1000倍下的分辨能力为200nm,实际分辨率也与样品图案的质量,表面反光情况,镜头能否很好靠近样品有关。你的3-5um,从尺寸大小看应该是可以的,但问题是如果摆放你的断面。
那根据准确度能不能确定测量最小值呀?
还有貌似我们的显微镜最大是x500倍的,分辨能力是多少呢?断面是准备用抛光打磨,平时测厚度也这么测。。。
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3楼
2013-05-02 15:33:45
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Jackcd12
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2013-05-02 15:48:15
光学显微镜x1000倍下的分辨能力为200nm,实际分辨率也与样品图案的质量,表面反光情况,镜头能否很好靠近样品有关。你的3-5um,从尺寸大小看应该是可以的,但问题是如果摆放你的断面。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼
2013-05-02 14:52:55
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2013-05-04 20:59:34
对微米级用光学显微镜测量的准确性不如SEM,为提高准确性,你可以买一个光显微镜用的微米标尺作为标准。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
4楼
2013-05-02 16:04:32
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