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请问该在机械泵前加什么阀门,以控制被抽管式炉里的压强?
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| 我有一台管式炉,通入的气体流量可通过气体质量流量计控制,管式炉下游于机械泵相连,现在我希望管式炉可以维持在比如50torraa、100torr等这样的负压下,但目前我的机械泵与管式炉间只有一挡板阀,手动调节阀门开合度,可以调节气压,但很难维持气压稳定,请问有没有可以起到稳压作用的阀门? |
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HORIBAMETRON 
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