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hnwhinder

铁虫 (小有名气)

[求助] 请问该在机械泵前加什么阀门,以控制被抽管式炉里的压强?

我有一台管式炉,通入的气体流量可通过气体质量流量计控制,管式炉下游于机械泵相连,现在我希望管式炉可以维持在比如50torraa、100torr等这样的负压下,但目前我的机械泵与管式炉间只有一挡板阀,手动调节阀门开合度,可以调节气压,但很难维持气压稳定,请问有没有可以起到稳压作用的阀门?
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HORIBAMETRON

新虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★
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hnwhinder: 金币+2, ★有帮助 2013-09-15 15:29:19
hnwhinder: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-09-15 15:29:40
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2楼2013-05-02 14:21:40
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3楼2022-04-25 18:12:20
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p7818183LXT

金虫 (小有名气)

有没有考虑过自力式调节阀。。。
三人行,必有我师焉
4楼2022-05-10 11:59:39
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