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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 离子束辅助沉积Al2O3的问题
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leeeru

新虫 (小有名气)

[求助] 离子束辅助沉积Al2O3的问题

采用离子束辅助沉积的方法在硅片上沉积了120nm厚的Al2O3，采用XRD没有测出峰，是否说明此薄膜是无定形态呢？
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1楼 2013-04-30 11:35:38
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lcQ乐

金虫 (正式写手)
你好，请问你的离子束辅助沉积，蒸镀还是溅射，气压是多少呢？请教
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2楼2013-12-12 21:05:09
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