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离子束辅助沉积Al2O3的问题
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| 采用离子束辅助沉积的方法在硅片上沉积了120nm厚的Al2O3，采用XRD没有测出峰，是否说明此薄膜是无定形态呢？ |
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 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制备 |
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