| 查看: 871 | 回复: 2 | ||
yangac_至尊木虫 (著名写手)
|
[求助]
磁控溅射仪Fe靶起辉疑点！急需！！！
|
|
虫虫们好，向大家请教一个问题，急需！希望大哥大姐给予指导！！ 情况是这样。我换了新的Fe靶，直径70mm，厚度2mm，装靶时万用表已量，确定靶与靶罩未短路，用的是直流励磁线圈。但是问题是：1.起辉气压要在11Pa才能起辉，起辉后气压降不下来，稍微降低一点气压就不起辉；2.功率加到12w，如果加大功率Setpoint就闪烁，Plazma会更亮，如果减小功率Setpoint亮，但是Plazma就灭，意思是功率加不上去；3.起辉预溅的过程中，电压很大1200v左右，电流20mA；3.如果是起辉一段时间功率归到0，也就是不加功率，可是靶头处还有辉光，如果直流电源关掉on打到off，辉光消失。老板说是因为辉光在靶罩之间形成通路，没有在靶与基片之间形成通路。 总之问题很严重，急需大家帮忙，哪位高手来给解决一下，一定重谢，要多少BB都可以哦      |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿2110，化学学硕310分，本科重点双非求调剂
已经有11人回复
-
一志愿华东理工085601材料工程303分求调剂
已经有12人回复
-
化学0703-一志愿211-338分求调剂
已经有10人回复
-
307分材料专业求调剂
已经有11人回复
-
315求调剂
已经有17人回复
-
0703化学
已经有27人回复
-
调剂
已经有6人回复
-
280求调剂
已经有9人回复
-
324求调剂
已经有13人回复
-
化学调剂求助
已经有13人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【求助】问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么？？
已经有3人回复
- 【求助】有买过Fe50Mn50磁控溅射靶的么？
已经有3人回复
yangac_
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 13266.7
- 散金: 814
- 红花: 15
- 帖子: 1684
- 在线: 245.9小时
- 虫号: 802766
- 注册: 2009-07-03
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2013-04-27 17:02:08
huihui1991 
铜虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2013-04-28 12:04:36
