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yangac_至尊木虫 (著名写手)
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[求助]
磁控溅射仪Fe靶起辉疑点！急需！！！
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虫虫们好，向大家请教一个问题，急需！希望大哥大姐给予指导！！ 情况是这样。我换了新的Fe靶，直径70mm，厚度2mm，装靶时万用表已量，确定靶与靶罩未短路，用的是直流励磁线圈。但是问题是：1.起辉气压要在11Pa才能起辉，起辉后气压降不下来，稍微降低一点气压就不起辉；2.功率加到12w，如果加大功率Setpoint就闪烁，Plazma会更亮，如果减小功率Setpoint亮，但是Plazma就灭，意思是功率加不上去；3.起辉预溅的过程中，电压很大1200v左右，电流20mA；3.如果是起辉一段时间功率归到0，也就是不加功率，可是靶头处还有辉光，如果直流电源关掉on打到off，辉光消失。老板说是因为辉光在靶罩之间形成通路，没有在靶与基片之间形成通路。 总之问题很严重，急需大家帮忙，哪位高手来给解决一下，一定重谢，要多少BB都可以哦      |
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yangac_
至尊木虫 (著名写手)
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huihui1991 
铜虫 (小有名气)
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3楼2013-04-28 12:04:36
