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直流溅射Al膜总是被氧化 已有2人参与
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| 直流溅射铝膜，膜是黑色的，经过能谱分析，证明是氧化铝，但是百思不得其解，为什么被氧化，溅射的时候本地真空为2*10-4，氩气纯度也很高时五个九的，氩气流量为15ml/min,功率为100W到160W都试过，而且还有个疑问靶材中间部分和边缘部分都为黑色，考虑是不是这个导致的制备出来的Al膜都是黑色的？请问大家有没有出现过相同的情况，或是有什么好的建议？ |
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csudog
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4楼2013-04-18 09:40:14
